燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的專用設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。

真空燒結爐的主要原理

真空燒結爐是在真空環境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，其加熱方式比較多，如電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。燒結爐磁飽和鐵芯反應器控制另一種方法，很準確地保持溫度恒定，稱為磁飽和鐵芯反應器控制。真空感應爐是利用感應加熱對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，可分為工頻、中頻、高頻等類型，可以歸屬于真空燒結爐的子類。 真空感應燒結爐是在真空或保護氣氛條件下，利用中頻感應加熱的原理使硬質合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實現燒結的成套設備，是為硬質合金、金屬鏑、陶瓷材料的工業生產而設計的。

檢測燒結爐的爐襯厚度有以下幾種檢測方法

應力波法：應力波動信號對結構缺陷有很高的敏感性，當應力波在介質傳播時，如遇到孔洞、裂紋等界面不連續處，就會發生反射、折射、散射和模式轉換，利用應力波的特性可以確定冷卻壁材料的厚度。其主要組成為：電爐本體、真空系統、水冷系統、氣動系統、液壓系統、進出料機構、底座、工作臺、感應加熱裝置(鎢加熱體及保溫材料)、進電裝置、中頻電源及電氣控制系統等。電容法：電容法與電阻法類似，在爐襯內部埋設同軸圓形電容器傳感器，電容值與其長度成對應關系，可以通過測量電容值來確定高爐砌體的厚度。通過這些方法，對爐襯的一些基本數據和性能有了初步的判斷和堅定，對電爐的大體的工作狀況有些概括的了解。

燒結爐的運行過程

(1)粉末壓坯具有較大的自由表面，燒結過程一般需要保護氣氛，并且對各種燒結氣氛的反應很敏感； (2)金屬粉末表面一般存在著氧化膜，影響金屬之間接觸，阻礙燒結進行，需在燒結過程中使金屬氧化物得到還原； (3)壓坯在成形過程產生的應力應予以消除； (4)壓坯中含有一定數量的揮發性添加劑，需在燒結前的升溫加熱階段予以燒除；

燒結爐爐底燒結層

在這種變化的條件下，燒結爐底能夠而且應該在相當高的溫度和改變燒結材料數量及質量組成的情況下進行，以保證制作更堅固和壽命更高的爐底燒結層。 在許多工廠已經成功地應用了采用氧化鐵皮燒結爐底的方法。先進的燒結爐底方法推廣較慢的原因是-缺乏被公認的燒結層形成過程的理論，結果產生了各種不同的燒結方法，對材料的選擇和數量配比問題以及合理的溫度制度的確定沒有提出明晰的敘述。