高溫真空氣氛爐是在真空環境中進行加熱的設備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。高溫真空氣氛爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。

高溫真空氣氛爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置的高溫真空氣氛爐在才次使用時高溫真空氣氛爐泄漏故障比較易發生。這時間就須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統運轉，10min后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空運轉一次(進行烘爐)。

高溫真空氣氛爐使用注意事項

1、工件--工件車須經清洗干燥后方克進入爐內，防止水份、污物進入爐內。

2、各傳動件發現卡位，限位不準，控制失靈等現象時，應立即排除，不要強操作，以免損壞機件。

3、不能超負荷使用高溫真空氣氛爐，高溫真空氣氛爐的高使用溫度是指元件在真空中允許的本身表面溫度，并不是指加熱物質的溫度或加熱元件周圍的溫度。要注意真空電熱元件本身的溫度一股比它周圍的介質溫度或被加熱溫度高100℃。

4、測量高溫真空氣氛爐溫均勻性時，應注意測溫觸點的定位捆綁方式，以及距加熱元件的遠近。高溫真空氣氛爐內經常(至少每天或每班使用前)用毛刷、掃帚或壓縮空氣、吸塵器等清潔爐膛，要防止爐內氧化皮等雜質掉在電熱元件上，發生短路，甚至燒壞鉬加熱棒。底板、鉬加熱棒、爐保溫層等耐熱鋼構件每使用一段時間，應該進行清理，嚴禁敲擊，可小心清除其氧化皮。氧化鐵皮等雜質如不及時清除，就會熔融處與保溫層發生打火，使鉬絲熔化。

5、要避免加熱元件和產品發生反應，尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與真空加熱元件接觸，無論是細粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”，截面變小，過熱而燒斷。

6、高溫真空氣氛爐子升溫后，不能突然破壞真空系統，更不可打開高溫真空氣氛爐爐門。注意充大氣進去前,應關閉真空計開關,防止真空計老化。當溫度高于400℃時，不得急劇冷卻。對于真空加熱元件在溫度高、真空度不好以及冷熱變化大情況下，容易引起氧化。對于鉬加熱爐，正常使用維護中注意應冷卻至200℃以下方可停送保護氮氣。80℃以下才能打開爐門。

7、冷卻系統是高溫真空氣氛爐的重要部分。冷卻水路應保持暢透，否則水溫升高造成停機。這是高溫真空氣氛爐工作時常披忽視的問題當無人管理時可能會導致高溫真空氣氛爐的重大毀壞。用生物分解化學輔助方法處理冷卻水，目的是保持礦物質呈懸浮態，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積，以使水流暢通。這一般采用一種自動裝置來完成，它可以監測水的導電性，自動補充化學劑，沖冼水路，添加新鮮水。與附屬蒸氣過濾系統配合，這種方法還可以保證水的pH值控制，防止在冷卻水系統中多余礦物質沉積。在系統工作穩定后，至少應每月一次進行水質試驗以防過處理或欠過理。高溫真空氣氛爐外殼和熱交換器材料的試驗樣品也應放在水路系統中，每年做一次重量損失檢驗以檢查處理的效果。對擴散泵的蛇形管冷卻器須特別注意。應該經常檢查。如果堵塞了，擴散泵將會過熱并喪失功能，而且還進一步引起擴散泵加熱器燒毀，造成昂貴的、費時的修理。當蛇形冷卻水管堵塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖洗。