氣相超聲波清洗機又簡稱為氣相清洗機，采用三氯乙稀，二氯甲烷，等揮發性有機溶劑做為清洗劑，也是被譽為最佳的清洗設備，具有清洗速度快，效果好等優點。并且氣相清洗的工件無需另設干燥設備，可通過機器自身的冷氣裝置把工件冷凍干燥。

超聲波的功率密度對超聲波的清洗功率影響很大。運用超聲波清洗的主要參數就是功率，或者確切的說，是清洗槽內被清洗工件外表的功率密度的巨細，它直接影響到超聲聲強的巨細，聲強巨細又是直接影響空化作用的要素。

超聲波清洗的作用不必定完全與功率×清洗時刻成正比，能夠幻想有時用小功率的清洗機，花費很長時刻也不會有特別顯著的作用，假如當大功率超聲波清洗機功率到達必定值，則能夠很快將塵垢去除。但功率過大空化強度將大大增加，清洗作用是提高了，但會使較精密的零件發生蝕點因小失大。

并且超聲波底部振蕩處空化嚴重，很容易遭到水點腐蝕削減超聲波清洗劑的壽命。太強的聲強會構成空化泡過多，構成聲波屏障，是聲波不容易傳導到液體空間。在遠離聲源的地方聲波強度會削弱很快，不能構成有用的清洗。超聲波的功率密度越大空化作用越強其清洗作用越好。